风机过滤机组是一种自带动力的送风过滤装置,英文全称为(Fan Filter Unit),具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机过滤机组从顶部将空气吸入和并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20*左右的速度均匀送出。应用FFU风机过滤机组可模块化连接用,使用FFU风机过滤机组广泛应用于无尘室,无尘操作台,无尘生产线,组装式无尘室和局部百级等应用场合。利用FFU风机...
洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。简介洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10*~15*,64位储存器仅2*。目前在精密机械、半导体、宇航...